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半导体工厂特气管道(氢气)氦质谱检漏
合肥某半导体厂的特气管道中有大量工艺氢气管道,特点是管道长度较长且连接处众多。为了防止氢气在运输过程中泄露造成的经济损失和安全隐患,对氢气管路进行氦检漏非常有必要。
本项目采用安徽麻豆精品视频在线观看品牌的A530型麻豆免费精品视频,使用负压喷氦法检漏。具体检测方法是:因管路较长且管径较细,将氢气管路分段密封好,然后对管路抽真空。抽真空时需检测抽空接口的密封性是否良好。当氦检仪所显示的本底值达到要求后,逐段在管路表面喷吹氦气,观察氦检仪的读数是否上升,如果读数上升意味着有管路有漏,对泄露处进行修补后继续进行检测。直至所有管路检查完毕。
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